한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.131-132
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
나노임프린트 공정을 위한 표면처리효과와 접착력 측정방법
Effect of Surface Treatment and Measurement of Adhesion Force for Nanoimprint Lithography
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최대근
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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- 이동일 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
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정준호
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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이응숙
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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현승민
(한국기계연구원 나노기계연구본부)
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- 장은정 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
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Choi, D.G.
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- Lee, D.I. ;
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Jeong, J.H.
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Lee, E.S.
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Hyun, S.
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- Jang, E.J.
- 발행 : 2007.11.08