Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.131-132
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
Effect of Surface Treatment and Measurement of Adhesion Force for Nanoimprint Lithography
나노임프린트 공정을 위한 표면처리효과와 접착력 측정방법
- Choi, D.G. ;
- Lee, D.I. ;
- Jeong, J.H. ;
- Lee, E.S. ;
- Hyun, S. ;
- Jang, E.J.
- 최대근 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
- 이동일 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
- 정준호 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
- 이응숙 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
- 현승민 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
- 장은정 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
- Published : 2007.11.08