한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

박막의 두께형상 및 굴절률 측정

Thin-film Measurements of thickness profile and refractive index

  • 주우덕 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김영식 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 유준호 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2007.11.08
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드