Thin-film Measurements of thickness profile and refractive index

박막의 두께형상 및 굴절률 측정

  • 주우덕 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김영식 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 유준호 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2007.11.08