대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2007년도 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.226-227
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- 2007
유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구
A comparison study of plasma characteristics between two antennas in Inductively Coupled Plasma(ICP)
- Kim, Jin-Seong (Hanyang University) ;
- Bang, Jin-Young (Hanyang University) ;
- Lee, Hyo-Chang (Hanyang University) ;
- Chung, Jin-Wook (Hanyang University)
- 발행 : 2007.11.02