Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.226-227
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2007

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)

권호 표지

A comparison study of plasma characteristics between two antennas in Inductively Coupled Plasma(ICP)

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

Kim, Jin-Seong (Hanyang University) ;
Bang, Jin-Young (Hanyang University) ;
Lee, Hyo-Chang (Hanyang University) ;
Chung, Jin-Wook (Hanyang University)

김진성 (한양대학교 전기공학과) ;
방진영 (한양대학교 전기공학과) ;
이효창 (한양대학교 전기공학과) ;
정진욱 (한양대학교 전기공학과)

Published : 2007.11.02

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Abstract

유도결합 플라즈마(ICP)에서 안테나의 특정부분에 유도자기장을 보강 또는 상쇄 시키는 형태의 두 안테나를 고안하였다. 플라즈마 밀도와 전자온도, 플라즈마 전위, 전자에너지 분포함수 등의 플라즈마 파라미터들로 그 특성을 비교하였다.

Keywords