대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

나노 임프린팅 기술에 의한 원기둥형 나노 패턴의 PMMA 도광판 형성 기술

Technology to Fabricate PMMA Light Guiding Plate with Pillar Type Nano Pattern Using Nano Impinrinting Technology

  • 이병욱 (순천향대학교 전기로봇공학과) ;
  • 이태성 (순천향대학교 전기로봇공학과) ;
  • 이종하 (순천향대학교 전기로봇공학과) ;
  • 이근우 (순천향대학교 전기로봇공학과) ;
  • 정재훈 (순천향대학교 물리학과) ;
  • 홍진수 (순천향대학교 물리학과) ;
  • 김창교 (순천향대학교 전기로봇공학과)
  • Lee, B.W. (Dept. of Electric and Robotics Engineering, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Lee, T.S. (Dept. of Electric and Robotics Engineering, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Lee, J.H. (Dept. of Electric and Robotics Engineering, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Lee, K.W. (Dept. of Electric and Robotics Engineering, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Jung, J.H. (Dept. of Information Physics, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Hong, C. (Dept. of Information Physics, Soonchunhyang Univ.) ;
  • Kim, C.K. (Dept. of Electric and Robotics Engineering, Soonchunhyang Univ.)
  • 발행 : 2007.11.02
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초록

나노임프린팅 기술을 이용하여 원기둥형 나노 패턴을 갖는 도광판을 제작하였다. 나노 임프린트 공정을 이용하기 위해서는 니켈 스탬퍼가 필요하기 때문에 이를 제작하기 위하여 실리콘 웨이퍼 상에 건식식각을 이용하여 실리콘 몰드를 제작하였다. 제작된 실리콘 몰드를 전주도금을 이용하여 니켈 스탬퍼를 제작하였다. 제작된 니켈 스탬퍼를 사용한 나노임프린트 공정을 통해 원기둥 나노패턴을 갖는 도광판을 제작하였다.

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