대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

2차원 광자 결정을 이용한 $In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ 녹색 발광 다이오드의 음극선 발광 효율 증대

Enhanced cathode luminescence in $In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ green light emitting diode structure using two-dimensional photonic crystal

  • Choi, E.S. (Ajou University) ;
  • Nguyen, H.P.T. (Ajou University) ;
  • Doan, H.M. (Ajou University) ;
  • Kim, S. (Ajou University) ;
  • Lim, H. (Ajou University) ;
  • Lee, J.J. (Ajou University)
  • 발행 : 2007.11.02
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초록

$In_xGa_{1-x}N/In_yGa_{1-y}N$ 다중 양자우물 녹색 발광 다이오드에 2차원 광자 결정을 이용하여 음극선 발광의 향상을 관찰 하였다. 정사각형 배열의 2차원 광자 결정의 주기와 격자 상수는 200/500 nm 이고 전자빔 리소그래피로 광자결정 패턴을 제작한 후, 플라즈마 건식 식각법으로 패턴을 구현하였다. 식각 시간의 차이를 둔 구현된 패턴의 홀 깊이는, 각각 ${\sim}69nm,\;{\sim}99nm,\;{\sim}173nm$ 이었다. 전계 방사 주사 현미경 측정 결과, 형성된 홀은 끝이 잘린 역전된 원뿔 모양으로 식각 되었다. 식각 된 홀의 깊이에 따라 광자 결정이 있는 부분이 없는 부분보다 최대 ${\sim}30$배 많은 광자가 검출 됨을 확인하였다.

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