Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PECVD를 이용한 실리콘 나노입자의 제조 및 포집

  • 김광수 (성균관대 나노과학기술학부) ;
  • 우대광 (성균관대 나노과학기술학부) ;
  • 강윤호 (삼성 종합기술원) ;
  • 김태성 (성균관대 기계공학부&나노과학기술원)
  • Published : 2007.02.06
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords