XPS, TEM을 이용한 티타늄 실리사이드 나노 아일랜드의 계면반응 관찰

  • 정혜경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김현우 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 최석 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2007.02.06