Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
- /
- Pages.145-145
- /
- 2007
경사입사 $TiO_2$ 보호 층을 가지는 Mo/Si 다층 박막
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords