Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰

  • 김성우 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 박병재 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 민경석 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 염근영 (성균관대학교 공과대학 신소재공학부)
  • Published : 2007.02.06
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Abstract

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