한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집
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- Pages.90-90
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- 2007
$O_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
- 박연현 (인제대학교 나노공학부) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부) ;
- 백인규 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이제원 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이재명 (한국영재학교) ;
- 최정환 (한국영재학교) ;
- 강철환 (한국영재학교) ;
- 강윤종 (한국영재학교) ;
- 김지영 (한국영재학교)
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Kim, Jae-Gwon ;
- Ju, Yeong-U ;
- Baek, In-Gyu ;
- Lee, Je-Won ;
- Lee, Jae-Myeong ;
- Choe, Jeong-Hwan ;
- Gang, Cheol-Hwan ;
- Gang, Yun-Jong ;
- Kim, Ji-Yeong
- 발행 : 2007.02.06