$O_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구

• Park, Yeon-Hyeon ;
• Kim, Jae-Gwon ;
• Ju, Yeong-U ;
• Baek, In-Gyu ;
• Lee, Je-Won ;
• Lee, Jae-Myeong ;
• Choe, Jeong-Hwan ;
• Gang, Cheol-Hwan ;
• Gang, Yun-Jong ;
• Kim, Ji-Yeong

• 박연현 (인제대학교 나노공학부) ;
• 김재권 (인제대학교 나노공학부) ;
• 주영우 (인제대학교 나노공학부) ;
• 백인규 (인제대학교 나노공학부) ;
• 이제원 (인제대학교 나노공학부) ;
• 이재명 (한국영재학교) ;
• 최정환 (한국영재학교) ;
• 강철환 (한국영재학교) ;
• 강윤종 (한국영재학교) ;
• 김지영 (한국영재학교)

• Published : 2007.02.06

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