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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집
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Pages.87-87
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2007
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
AZO 박막을 위한 내부삽입형 ICP 보조 Bipolar Pulsed DC Magnetron Sputtering의 플라즈마 특성 분석
양원균
(군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부) ;
주정훈
(군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부)
Yang, Won-Gyun
;
Ju, Jeong-Hun
발행 : 2007.02.06
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