Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.53-53
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- 2007
In-situ type Vacuum Gauge Calibration System의 자동화 및 용량형 진공게이지 교정
- Gang, Dong-Seok ;
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Hong, Seung-Su
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Im, In-Tae
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Kim, Jin-Tae
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- Hwang, Sun-Ja ;
- Kim, Min-Su ;
- Yun, Cheong-Sik
- 강동석 (주식회사 브이티에스) ;
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홍승수
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
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임인태
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
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김진태
(한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 황순자 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 김민수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
- 윤청식 (주식회사 브이티에스)
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords