한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.151-152
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- 2007
Hot-filament 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 저온 성장
Growth of Carbon Nanotubes at Low temperature by HF-PECVD
- 장윤정 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 최은창 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 최원석 (한밭대학교 전기공학과) ;
- 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Chang, Yoon-Jung (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Choi, Eun-Chang (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Park, Yong-Seob (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Choi, Won-Seok (Department of Electrical Engineering, Hanbat University) ;
- Hong, Byung-You (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University)
- 발행 : 2007.11.01
초록
탄소나노튜브(CNTs)는 우수한 물리적, 화학적, 기계적 특성으로 다양한 분야에서 연구가 진행 되고있다. 특히, field emission displays (FEDs)로의 응용을 위해서는 기본적으로 sodalime glass 위에 직접 CNTs를 성장시켜야 하며, 소자 응용을 위해 기판인 sodalime glass를 왜곡시키는 온도보다 낮은 온도에서 CNT의 수직 성장이 이루어져야 한다. 본 연구에서는 Hot-filament plasma enhanced chemical vapor deposition (HF-PECVD)를 이용하여 합성온도를 400, 450, 500,