한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.72-72
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- 2007
고집적 소자에의 적용을 위한 Ni-Zr 실리사이드 공정 연구
- 발행 : 2007.11.01
초록
Ni 단일박막과 Ni-Zr 합금박막을 단결정 Si 기판위에 증착한 후 RTP를 이용하여 Ni 실리사이드 형성반응을 관찰하였고,