Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
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- Pages.1532-1533
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- 2007
Fabrication Enhancement of Hollow-type Silicon Microneedle Array for Transdermal Drug Delivery
경피 약물 전달을 위한 Hollow형 실리콘 미세바늘 어레이의 제작 공정 개선
- Kim, Seung-Kook (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
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Chang, Jong-Hyeon
(Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Kim, Byoung-Min (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
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Yang, Sang-Sik
(School of Electronics Engineering, Ajou University) ;
- Hwang, In-Sik (R&D Center, KMH Co.,Ltd) ;
- Pak, Jung-Ho (Department of Electrical Engineering, Korea University)
- 김승국 (고려대학교 전기공학과) ;
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장종현
(고려대학교 전기공학과) ;
- 김병민 (고려대학교 전기공학과) ;
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양상식
(아주대학교 전자공학과) ;
- 황인식 (케이엠에이치(주) 중앙연구소) ;
- 박정호 (고려대학교 전기공학과)
- Published : 2007.07.18
Abstract
Hollow형 미세바늘 어레이는 주사기와 패치의 장점을 결합하여 여러 종류의 약물을 통증 없이, 전달할 수 있게 한다. 본 논문에서는 건식 식각 방법과 습식 식각 방법을 이용하여 hollow형 실리콘 미세바늘 어레이를 제작하는 제작 공정과 그 결과를 제시하였다. 미세바늘 어레이의 형태는 실리콘 웨이퍼의 앞면에서 세 번의 식각 공정을 이용해 제작되었는데, 첫 번째 건식 식각 공정으로 피부에의 침투를 원활히 하기 위해 바늘 끝을 형성하고, 두 번째 건식 식각 공정으로 바늘의 길이를 조절하며, 마지막 HNA solution을 이용한 습식 식각 공정으로 바늘을 더 가늘게 만들면서 끝을 더 날카롭게 식각한다. 바늘을 통해 약물전달이 가능하도록 웨이퍼의 뒷면으로부터 건식 식각 공정을 이용해 약물 주입통로를 형성하였다. 제작된 Hollow형 실리콘 미세바늘 어레이는
Keywords