대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

표면 코일과 영구자석간의 전자기력에 의해 구동되는 마이크로미러 설계

Design of Micromirror Actuated by Electromagnetic Force Between Surface Coil and Permanent Magnet

  • 김병민 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 장종현 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 한승오 (호서대학교 융합기술연구소) ;
  • 박정호 (고려대학교 전기공학과)
  • Kim, Byoung-Min (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Chang, Jong-Hyeon (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Han, Seung-Oh (Institute of Fusion Technology, Hoseo University) ;
  • Pak, Jung-Ho (Department of Electrical Engineering, Korea University)
  • 발행 : 2007.07.18
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초록

본 논문은 미러 표면에 형성된 코일과 미러 양쪽에 위치한 영구자석간의 전자기력에 의해 구동되는 마이크로미러의 설계 및 결과를 나타낸다. $4mm\;{\times}\;4mm$ 크기를 갖는 미러의 전자기 특성 및 구동을 유한요소해석 프로그램인 COMSOL Multiphysics를 이용하여 시뮬레이션 하였다. 4 kHz의 공진주파수 특성을 갖도록 설계된 마이크로미러는 코일에 $3.6\;A/mm^2$의 current density 적용 시 x-, y-axis displacement가 각각 $1.2{\mu}m$, $12{\mu}m$가 되는 것으로 나타났다.

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