대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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- Pages.1432-1433
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- 2007
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
Plasma sheath modeling of Dry etching process
- Yu, Gwang-Jun (Sungkyunkwan University) ;
- Lee, Se-Yeon (Sungkyunkwan University) ;
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Park, Il-Han
(Sungkyunkwan University)
- 발행 : 2007.07.18