Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
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- Pages.1277-1278
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- 2007
Development of highly sensitive polyimide capacitive humidity sensors
고감도 폴리이미드 정전용량형 습도센서의 개발
- Cho, Min-Hee (Korea University) ;
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Min, Nam-Ki
(Korea University)
- Published : 2007.07.18
Abstract
본 논문에서는 폴리이미드를 감습재로 한 정전용량형 습도 센서의 상용화 연구 결과를 보고한다. 유리 기판상에 제작된 용량형 습도센서는 감도 0.338pF%RH, 히스테리시스 1.7%.인 특성을 나타내었다.
Keywords