Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
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- Pages.282-283
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- 2007
FEM Modelling of Piezoelectric RF MEMS Switches
유한요소기법(FEM)을 통한 압전구동 RF MEMS 스위치의 최적화 설계 및 해석
- Yang, Chang-Soo (Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University) ;
- Park, Jae-Yeoung (Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University)
- Published : 2007.07.18
Abstract
본 논문에서는 저전압에서 구동 할 수 있는 압전구동 방식의 RF MEMS 스위치를 설계하였다. 설계는 유한요소기법(FEM)을 지원하는 시뮬레이터 (ConventorWare)를 사용하여 수행하였고, 이를 바탕으로 deflection, contact force, stress 등 기계적인 해석을 함으로써 최적화된 설계를 할 수 있었다. 이번 설계에서는 적절한 contact force를 유지하면서 hinge에서 받는 stress를 최소화하기 위하여 구동기를 2개 사용한 듀얼형식의 모델을 제안하였고, hinge의 모양은 'ㄷ'로 하여 deflection을 향상시켰다. 이 듀얼형식의 최적화된 모델은 signal line과 contact pad 간의 gap이 3.4
Keywords