대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
권호 표지

지능화 알고리즘을 이용한 FPD용 박막 두께 자동 측정

Intelligent Algorithm for Automatical Measuring FPD Thickness

  • 문찬우 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 최우경 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 김성현 (동원대학 디지털정보전자과) ;
  • 김용민 (충청대학교 컴퓨터학부) ;
  • 전홍태 (중앙대학교 전자전기공학부)
  • 발행 : 2006.06.21
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초록

FPD 산업의 폭발적인 성장과 함께 어떻게 하면 불량률을 낮출수 있는가에 생산업체의 관심이 지대하다. FPD공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 박막 두께의 제어가 차지하는 비중이 크다. 논문에서는 광학적 방법인 광 간섭 두께 측정기를 이용하여 얻은 시료의 광학적 특성을 레퍼런스 데이터와 비교하는 과정을 통해 시료의 두께를 측정함으로써 불량여부를 판별한다.

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