02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.08a
/
Pages.174-174
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
고상 확산 방법에 의한 SOI MOSFET 소자제작과 후속 열처리에 의한 동작특성 개선
Lee U-Hyeon
;
Gu Hyeon-Mo
;
Kim Gwan-Su
;
Gi Eun-Ju
;
Jo Won-Ju
;
Gu Sang-Mo
;
Jeong Hong-Bae
이우현
(광운대학교 전자재료공학과) ;
구현모
(광운대학교 전자재료공학과) ;
김관수
(광운대학교 전자재료공학과) ;
기은주
(광운대학교 전자재료공학과) ;
조원주
(광운대학교 전자재료공학과) ;
구상모
(광운대학교 전자재료공학과) ;
정홍배
(광운대학교 전자재료공학과)
Published : 2006.08.01
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