고상 확산 방법에 의한 SOI MOSFET 소자제작과 후속 열처리에 의한 동작특성 개선

  • 이우현 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 구현모 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김관수 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 기은주 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 구상모 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2006.08.01