Closed-field unbalanced sputtering 방법으로 합성시킨 티타늄이 첨가된 다이아몬드상 카본 박막의 기계적 특성 분석

• 조형준 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 최원석 (플라즈마 응용표면기술 연구센터) ;
• 이성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)

• Jo Hyeong-Jun ;
• Park Yong-Seop ;
• Choe Won-Seok ;
• Lee Seong-Uk ;
• Hong Byeong-Yu

• 발행 : 2006.08.01

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