Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.08a
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- Pages.163-163
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- 2006
Chromium nitride coating by inductively coupled plasma-assisted RF magnetron sputtering
- Jang Ho-Seong ;
- Kim Yu-Seong ;
- Choe Dae-Han ;
- Lee Jae-Yeong ;
- Choe Jong-In ;
- Park Ji-Hye ;
- Choe Bi-Gong ;
- Yu Yong-Ju ;
- Cheon Hui-Gon ;
- Kim Dae-Il
- 장호성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 김유성 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 최대한 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 이재영 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 최종인 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 박지혜 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 최비공 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 유용주 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학부) ;
- 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
- Published : 2006.08.01
Abstract
Keywords