한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구

  • 최광남 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 김성기 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 곽성관 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 정관수 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 김동식 (인하대학교 컴퓨터시스템공학부)
  • 발행 : 2006.08.01
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