Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.08a
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- Pages.159-159
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- 2006
Imaging Ellipsometer를 이용한 비결정질 실리콘의 결정화 연구
- Cheon Hyeok-Nyeong ;
- Jo Jong-Gyu ;
- Lee Jeong-Hwan ;
- Im Ju-Sang ;
- Lee Sang-Yuk ;
- Seo Min-Su ;
- Park Heung-Jin ;
- An Il-Sin
- 천혁녕 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 조종규 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 이정환 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 임주상 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 이상육 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 서민수 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 박흥진 (한양대학교 응용물리학과) ;
- 안일신 (한양대학교 응용물리학과)
- Published : 2006.08.01
Abstract
Keywords