Imaging Ellipsometer를 이용한 비결정질 실리콘의 결정화 연구

  • 천혁녕 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 조종규 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 이정환 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 임주상 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 이상육 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 서민수 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 박흥진 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 안일신 (한양대학교 응용물리학과)
  • Published : 2006.08.01