Imaging Ellipsometer를 이용한 비결정질 실리콘의 결정화 연구

• Cheon Hyeok-Nyeong ;
• Jo Jong-Gyu ;
• Lee Jeong-Hwan ;
• Im Ju-Sang ;
• Lee Sang-Yuk ;
• Seo Min-Su ;
• Park Heung-Jin ;
• An Il-Sin

• 천혁녕 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 조종규 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 이정환 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 임주상 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 이상육 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 서민수 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 박흥진 (한양대학교 응용물리학과) ;
• 안일신 (한양대학교 응용물리학과)

• Published : 2006.08.01

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