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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2006년도 제31회 학술논문발표회 초록집
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Pages.140-140
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2006
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
고상확산방법과 후속 열처리 공정을 이용한 Poly-Si TFT 소자특성 개선
구현모
(광운대학교 전자재료공학과) ;
이우현
(광운대학교 전자재료공학과) ;
김관수
(광운대학교 전자재료공학과) ;
조원주
(광운대학교 전자재료공학과) ;
구상모
(광운대학교 전자재료공학과) ;
정홍배
(광운대학교 전자재료공학과)
Gu Hyeon-Mo
;
Lee U-Hyeon
;
Kim Gwan-Su
;
Jo Won-Ju
;
Gu Sang-Mo
;
Jeong Hong-Bae
발행 : 2006.08.01
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