한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

[ $La_xAl_yO_z$ ] nanolaminate films on TiN substrates grown by atomic layer deposition

  • 김수영 (고려대학교 화공생명공학과) ;
  • 박원태 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 김병호 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과)
  • 발행 : 2006.08.01
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