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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2006년도 제31회 학술논문발표회 초록집
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Pages.114-114
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2006
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
마그네트론 스퍼터용 플라즈마 전원장치에 대한 연구
한희민
(이엔테크놀로지㈜) ;
서광덕
(이엔테크놀로지㈜) ;
김동성
(이엔테크놀로지㈜) ;
최병준
(이엔테크놀로지㈜) ;
김윤택
(이엔테크놀로지㈜)
Han Hui-Min
;
Seo Gwang-Deok
;
Kim Dong-Seong
;
Choe Byeong-Jun
;
Kim Yun-Taek
발행 : 2006.08.01
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