한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2006년도 제31회 학술논문발표회 초록집
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- Pages.112-112
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- 2006
RF-Plasma 처리한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
Measurement of Sputtering Yield of RF-Plasma treated MgO layer
- 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 오현주 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
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최은하
(광운대학교 전자물리학과) ;
- 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
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김윤기
(광운대학교 전자물리학과) ;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과)
- Jeong Won-Hui ;
- Jeong Gang-Won ;
- Im Yeon-Chan ;
- O Hyeon-Ju ;
- Park Cheol-U ;
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Choe Eun-Ha
;
- Seo Yun-Ho ;
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Kim Yun-Gi
;
- Gang Seung-Eon
- 발행 : 2006.08.01