델타다층박막을 이용한 Stylus Profilometer에 의한 단차 측정의 새로운 깊이 단위 보정법

• 김경중 (한국표준과학연구원) ;
• 정칠성 (Hynix 반도체) ;
• 홍태은 (한국기초과학연구원) ;
• 장종식 (충북대학교 물리학과) ;
• 강희재 (충북대학교 물리학과)

• Kim Gyeong-Jung ;
• Jeong Chil-Seong ;
• Hong Tae-Eun ;
• Jang Jong-Sik ;
• Gang Hui-Jae

• 발행 : 2006.08.01

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