주사전자현미경(SEM) 진공특성에 대한 펌프조합 및 가스방출 영향 전산모사

  • 김재희 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학) ;
  • 김형택 (인천대학교 신소재안전공학부 신소재공학)
  • 발행 : 2006.08.01