Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.02a
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- Pages.184-184
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- 2006
Preparation of $Al_2O_3/NiO/Al_2O_3$ Multi-layer Films for Nano-Floating Gate Memory by ALD
- Jo Won-Tae ;
- Lee Seon-Suk ;
- An Gi-Seok ;
- Jeong Taek-Mo ;
- Kim Yun-Su ;
- Jeong Dong-Geun ;
- Yu Il-Hwan ;
- Hwang Jin-Ha
- 조원태 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
- 이선숙 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
- 안기석 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
- 정택모 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
- 김윤수 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
- 정동근 (성균관대학교 물리학과) ;
- 유일환 (홍익대학교 신소재 공학과) ;
- 황진하 (홍익대학교 신소재 공학과)
- Published : 2006.02.01
Abstract
Keywords