Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.02a
- /
- Pages.184-184
- /
- 2006
Preparation of $Al_2O_3/NiO/Al_2O_3$ Multi-layer Films for Nano-Floating Gate Memory by ALD
- Jo Won-Tae ;
-
Lee Seon-Suk
;
-
An Gi-Seok
;
-
Jeong Taek-Mo
;
-
Kim Yun-Su
;
-
Jeong Dong-Geun
;
- Yu Il-Hwan ;
-
Hwang Jin-Ha
- 조원태 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
-
이선숙
(한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
-
안기석
(한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
-
정택모
(한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
-
김윤수
(한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
-
정동근
(성균관대학교 물리학과) ;
- 유일환 (홍익대학교 신소재 공학과) ;
-
황진하
(홍익대학교 신소재 공학과)
- Published : 2006.02.01
Abstract
Keywords