02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.178-178
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
이온 주입 후 열처리 방법에 따른 도펀트 활성화 및 결함 회복에 관한 연구
Jin Beop-Jong
;
Lee Ju-Yeol
;
No Jae-Sang
진법종
(홍익대학교 신소재공학과) ;
이주열
(홍익대학교 신소재공학과) ;
노재상
(홍익대학교 신소재공학과)
Published : 2006.02.01
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