Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온 주입 후 열처리 방법에 따른 도펀트 활성화 및 결함 회복에 관한 연구

  • 진법종 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 이주열 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.02.01
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