02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.157-157
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
금속이 혼입된 DLC 박막의 응력 감소 거동 : 제일원리계산
Choe Jeong-Hye
;
An Hyo-Sin
;
Lee Seung-Cheol
;
Lee Gwang-Ryeol
최정혜
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
안효신
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
이승철
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
이광렬
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부)
Published : 2006.02.01
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