금속이 혼입된 DLC 박막의 응력 감소 거동 : 제일원리계산

  • 최정혜 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 안효신 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 이승철 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부)
  • 발행 : 2006.02.01