02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.118-118
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
고압력(0.5Torr-10Torr)에서의 스퍼터 에칭을 위한 Self-bias 특성 조사
Kim Yong-Hun
;
Seo Sang-Hun
;
Jang Hong-Yeong
김용훈
(한국과학기술원 물리학과) ;
서상훈
(한국과학기술원 물리학과) ;
장홍영
(한국과학기술원 물리학과)
Published : 2006.02.01
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