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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.61-61
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
원판형 분자 드래그펌프 회전자의 고정자 사이 간극 크기가 배기성능에 미치는 영향 대한 연구
Gwon Myeong-Geun
;
Hwang Yeong-Gyu
권명근
(성균관대학교 대학원 기계공학과) ;
황영규
(성균관대학교 기계공학부)
Published : 2006.02.01
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