Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Halogen leak detector의 sniffer 위치, 각도 등 측정조건에 따른 leak rate

  • 임인택 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩0) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩0) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩0) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩0)
  • Published : 2006.02.01
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