02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.56-56
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
반도체용 Precursor 증기압 측정장치개발
Lee Ji-Hun
;
Yun Ju-Yeong
;
Seong Dae-Jin
;
Mun Du-Gyeong
;
Sin Yong-Hyeon
;
Jeong Gwang-Hwa
이지훈
(건국대학교 신소재공학과) ;
윤주영
(한국표준과학연구원) ;
성대진
(한국표준과학연구원) ;
문두경
(건국대학교 신소재공학과) ;
신용현
(한국표준과학연구원) ;
정광화
(한국표준과학연구원)
Published : 2006.02.01
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