02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2006.02a
/
Pages.47-47
/
2006
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
벌집형 셀구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석
Ha Tae-Gyun
;
An Byeong-Nam
;
Lee Deuk-Jin
;
Kim Jin-Gon
;
Jeong Seok-Min
하태균
(포항공과대학교 물리학과) ;
안병남
(주식회사 브이엠티) ;
이득진
(주식회사 브이엠티) ;
김진곤
(주식회사 브이엠티) ;
정석민
(포항공과대학교 물리학과)
Published : 2006.02.01
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