Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2006.02a
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Pages.47-47
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2006

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

벌집형 셀구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석

하태균 (포항공과대학교 물리학과) ;
안병남 (주식회사 브이엠티) ;
이득진 (주식회사 브이엠티) ;
김진곤 (주식회사 브이엠티) ;
정석민 (포항공과대학교 물리학과)

Published : 2006.02.01

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Abstract

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