한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2006년도 춘계학술발표회 초록집
- /
- Pages.128-128
- /
- 2006
플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 $SiO_xN_y$ 막의 flexible 평판 디스플레이에 적용하기 위한 확산 방지막으로의 효과
- 발행 : 2006.04.01